全氟濾芯是電子級蝕刻液過濾和分離的關鍵

超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業不可替代的微電子半導體芯片制造和關鍵電子化學品，例如晶圓減薄液、晶圓制絨液、多晶硅蝕刻液、電子級蝕刻液等關鍵技術目前已突破了美日韓等少數國家化工企業長期壟斷和技術封鎖，為我國芯片制造產業高質量發展創造了良好條件。在過濾半導體制造用的刻蝕液、剝離液以及液晶電視用的液晶原料時，對濾芯的耐藥品性及溶出物的要求非常嚴格。聚丙烯等通用樹脂不可使用，只能使用耐藥性及耐溶出性優良的氟樹脂。通過使用特殊的洗凈方法開發出的全氟濾芯，對過濾介質要求嚴格的電子信息材料用藥液等過濾特別適用。由于經過特殊洗凈，無化學污染。全氟折疊濾芯過濾原液殘留少，特別適合價格昂貴的蝕刻液體過濾。

制作IC時，可以簡單分為4個步驟，金屬濺鍍、涂布光阻、蝕刻技術、光阻去除，其中過濾和分離是生產半導體，加工化學品和藥品的行業，或控制氣體或液體的系統的關鍵環節。

其中全氟折疊濾芯是采用聚四氟乙烯拉伸膜、PFA骨架制造，具有高通量、高流速、長壽命，以及極其優良的化學相容性和耐氧化性能等特點。這種濾芯廣泛應用于化學品過濾中各種酸、堿、有機溶劑等化學品的過濾，能夠滿足大多數惡劣環境下的過濾需求。例如，半導體制造工藝中的高溫、強腐蝕性的化學品過濾，化學品過濾中各種酸、堿、有機溶劑等化學品的過濾，蝕刻、清洗、光刻膠、顯影液等以及其他的強氧化性液體的過濾關鍵材料。